Отечественный порошок молибдена для микроэлектроники
Научный центр «Новые материалы специального назначения», координатором которого является Томский государственный университет, по заказу АО «Завод полупроводниковых приборов» (входит в группу компаний «Элемент», MOEX: ELMT) поставил предприятию отечественный порошок молибдена. Он используется в области микроэлектроники при изготовлении корпусов интегральных микросхем.
– Мы разработали свою технологию производства порошка молибдена, прошли серийные испытания и поставили необходимое сырье в требуемом количестве, – рассказал заведующий лабораторией нанотехнологий металлургии ТГУ Илья Жуков. – Порошки изготавливались специально под техпроцесс заказчика. В будущем планируется организация регулярных поставок порошков каждый месяц для обеспечения необходимых объемов для отечественной микроэлектроники.
Порошок молибдена используется в производстве металлокерамичесих корпусов для интегральных микросхем. Из смеси вольфрама и молибдена создается система токопроводящих соединений. Добавление порошка молибдена позволяет их стабилизировать, снять локальное напряжение и разрывы, поэтому критически важно создание отечественной технологии производства этого сырья.
– Отечественное производство молибденовых порошков не обеспечивало их необходимую однородность и дисперсность. В то же время Китай наложил запрет на его импорт, поэтому наша технология и порошки могут закрыть потребности отечественного рынка, – добавил Илья Жуков.
Уникальность томского молибдена в том, что порошок мелкодисперсный – его размер составляет менее одного микрометра. Это оптимальный размер, который был найден опытным путем сотрудниками АО «ЗПП» в ходе научных изысканий.
– Чем меньше размер частиц, тем больше можно заполнить дефектов между крупными частицами, то есть повысить плотность. И самое главное – чем тоньше порошок, тем больше возможностей по снижение толщины слоев и увеличению топологии. То есть, это путь миниатюризации изделий, – подчеркнул Илья Жуков.
Добавим, что в конце 2025 года ТГУ и АО «ЗПП» приняли решение подписать соглашение о заключении договоров по выполнению работ на 2026–2030 годы. Работы будут посвящены модификации керамических составов, разработке новых технологий и другим прикладным исследованиям. Основная цель сотрудничества – создание отечественных оригинальных решений, конкурентоспособных в глобальном масштабе.
Источник: Пресс –служба ТГУ